投資2億建中試線 年產萬片8吋氮化鎵晶圓

特區政府近年大力推動新型工業化，香港科技園公司與麻省光子技術（Mass Photon）昨舉行香港首條超高真空「第三代半導體氮化鎵外延片中試線」啟動禮，推動香港微電子產業發展，進一步完善香港創科生態圈。麻省光子技術計劃在科學園設立全港首個第三代半導體氮化鎵（GaN）外延工藝全球研發中心，以及在創新園開設首條超高真空量產型氮化鎵外延片中試線，預計在港投資至少2億港元及設立研發團隊，帶動整個第三代半導體產業鏈布局。◆香港文匯報記者 莊程敏

資料顯示，氮化鎵是一種堅硬且非常穩定的第三代半導體材料，可在高溫和高電壓下進行長時間運作。是次麻省光子技術將入駐新建的微電子中心（MEC），建設香港首條8吋氮化鎵外延片中試線，並聯合香港微電子專家開發下游的氮化鎵光電子和功率半導體器件。通過新產品的中試研發和孵化，建立前沿、完整的超高真空氮化鎵外延技術和產品專利包。

全方位招人才 設研發團隊

據介紹，麻省光子技術生產的氮化鎵晶圓，可用於製作高可靠性、高效能的1,200伏氮化鎵電源轉換產品，廣泛應用於新一代車載充電器、DC─DC轉換器、驅動逆變器和充電樁系統領域，其效率甚至超過具有類似額定值的量產碳化矽（SiC）器件。

麻省光子技術（香港）有限公司行政總裁廖翊韜昨表示，作為首家進駐香港的氮化鎵外延技術公司，將會致力在香港推動高階第三代半導體晶圓技術的研發和量產，並借助香港的國際化市場地位，積極參與全球半導體競爭。他指，公司在科學園將設立研發團隊，全方位尋找人才，包括本地博士畢業生與在香港從事半導體的專業人才，「我們看到香港這樣一個國際化的地位，不管是在知識產權的保護，以及中西文化交流方面，都有不可替代的優勢。」

將港產外延片產品推向全球

相關中試線將耗資2億港元，投產後，會進行氮化鎵外延片的小批量生產。廖翊韜預計，3年內完成中試並啟動在香港的氮化鎵外延量產產線建設，實現年產1萬片8吋氮化鎵晶圓產能，將香港製造的外延片產品推向全球市場，「這是一個非常可觸達、非常現實的一個目標。」這不僅為提升香港的原創性科技研發水平和新質生產力注入了強大動力，也為香港半導體製造產業鏈提供了最關鍵的上游晶圓量產技術支撐。

公司預計完成中試並啟動外延量產產線建設後，能夠帶動創造超過250個微電子相關的就業職位，包括外延片及設備設計、生產流程發展等。

香港科技園公司行政總裁黃克強昨指出，麻省光子技術決定落戶科學園及創新園，把其前沿技術及經驗帶來香港，將成為香港微電子產業及新型工業化發展歷程中的重要里程碑。他指，科技園公司一直配合特區政府，全力發展微電子產業，旗下有超過200家園區公司從事微電子行業，希望可提升香港微電子的研發實力及產業化，助力香港成為國際創新科技中心。

藉新材料實現產業鏈自主可控

麻省光子技術由廖翊韜及一群在氮化鎵外延行業擁有超過20年經驗的海歸半導體專家團隊創立，公司掌握全球領先的第三代半導體核心工藝，其生產的高質量GaN延晶片、裝置以及其他化合物半導體延晶片，大幅降低半導體產業對傳統矽基（Silicon）材料和裝置的原料、關鍵設備的依賴，實現產業鏈的自主可控。公司研發的高性能氮化鎵光電子和功率半導體晶圓片，廣泛應用於大健康醫療、消費電子、Micro-LED顯示、光伏、資料中心、電動汽車、軌道交通和超高壓電力輸送等尖端領域。

早前，麻省光子技術與香港信和創意研發室聯合開發的醫療級空氣消毒機，在2024年瑞士日內瓦發明展上榮獲金獎，並獲得香港創新科技署的特別嘉獎。該消毒機使用了麻省光子技術的氮化鎵紫外線殺菌晶片技術。

麻省光子技術拓展計劃

◆ 投資至少2億港元

◆ 在科學園設立全港首個第三代半導體氮化鎵外延工藝全球研發中心

◆ 在科學園建設首條8吋氮化鎵外延片中試線，料3年內實現年產1萬片8吋氮化鎵晶圓的產能

◆ 預計完成中試並啟動外延量產線建設，能夠帶動創造超過250個微電子相關的就業職位

◆ 將香港製造的外延片產品推向全球市場